【CSEAC 2022】上海高生参展第十届中国半导体设备年会

第十届中国半导体设备年会（CSEAC)

时间：2022年7月27-29日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

上海高生集成电路设备有限公司

展位号：B3-53

     高生集团拥有多家集研发、生产、销售为一体的高端装备制造企业，主要产品包括：尾气处理设备设计、生产及售后服务，高端设备零部件自主研发及销售，冷泵研发制造，分子泵和冷泵维修及备泵供应。各类产品已广泛应用于：半导体、LED、LCD等领域，公司技术力量雄厚，以质量和诚信为基础，以安全、品质、效率为保障服务于众多客户。拥有一支专业的售后服务团队，拥有半导体零部件设计、研发的高科技技术团队。公司一贯奉行“质量第一，用户至上”的服务宗旨，着力发展半导体高端装备，大力投入研发经费，不断创新提效，励志成为更优秀的半导体附属设备供应商。

网址：www.gaoshengic.com.cn

产品展示

Product presentation

PW-GS8018 等离子水洗式尾气处理设备

制程气体通过进气口进入主腔体混合（进气口：8PORT）；等离子炬装置位于主腔体中间位置，通过等离子体发生装置形成高温、射流状的等离子电弧（弧长：25CM），对进入的制程废气在反应室内进行电离、轰击、高温分解，使其废气分子转化成各种活性粒子，反应生成H2O、CO2等无害物质，再由水洗系统对其进行冲刷、喷淋、降温、水溶水解等处理，溶于水的物质作为废水排出，处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。

BW-GS2000D 双腔燃烧水洗式尾气处理设备

天然气经过点燃，在反应室内形成高温喷流状火炬，对进入的制程废气进行燃烧氧化和高温分解，使其形成有机、可燃、燃烧热值较高的废气；有机、可燃、燃烧热值较高的废气可直接燃烧处理，燃烧处理后的产物为H2O、CO2等无害物质，再由水洗系统对其进行冲刷、喷淋、降温、水溶水解等处理，溶于水的物质作为废水排出，处理达标的气体则定向排放至厂务中央系统。

TW-GS6D 双腔电加热水洗式尾气处理设备

工艺所产生的制程废气，经由真空连接管路进入反应腔体，在此进行高温分解反应处理，分解反应成粉末或是溶解于水的物质，由水洗系统对其进行冲刷、喷淋、降温、水溶水解等处理，溶于水的物质作为废水排出，再由水气分离器进行水气分离，防止湿度超标，最后，处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。

BEST VACUUM CRYO PUMP YZ-8S

低温真空泵是利用10K（-263℃）低温制冷机作为冷源，通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备，低温真空泵广泛应用于：半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程；光学镜片镀膜；磁控溅射镀膜生产线；空间环境模拟；真空排气台等。

会议支持单位

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参会报名通道

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入场听会，免费观展

长按扫描上方二维码提交报名内容，选择“论坛”报名（展区免费），实名填写参会人员信息、缴费，凭生成的二维码和个人纸质名片到现场办理证件入场。

团体报名，尽享优惠

团体人数≥5人可组团报名，每人优惠金额200元，请联系组委会会议注册负责人微信13585807781完成团队报名。

听会观展，多重福利

1、自助午餐和晚宴

2、会议手册一份

3、精美礼品一份

（以上福利请到现场签到处领取）

特别福利：团队报名30人以上，可以获得无锡市内免费专车接送。

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