【CSEAC 2022】海德汉参展第十届中国半导体设备年会
第十届中国半导体设备年会（CSEAC)
时间：2022年7月27-29日
地点：无锡太湖国际博览中心
展/商/推/荐
德国约翰内斯•海德汉博士公司
展位号：B3-42
德国约翰内斯•海德汉博士公司研发和生产高质量直线光栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显装置和数控系统。海德汉公司产品主要用于精密机床和电子元件的生产和加工设备。
我们拥有研发和生产测量设备和数控系统的丰富经验和专业知识，我们为未来大型设备和生产型机床的自动化打造发展基础。
ETEL、RSF和NUMERIK JENA是海德汉集团的子公司。
网址：www.heidenhain.com.cn
www.etel.ch/zh/
www.rsf.at/zh/
www.numerikjena.de/zh/
产品展示
Product presentation
VULCANO2 & CHARON2 系列集成运动系统平台
ETEL以半导体应用为核心,设计开发了多种不同类型的标准运动系统平台，每种工作台提供特定的解决方案，满足不同应用对生产和检测设备的运动要求。该系列产品都具有高可靠性和设计紧凑的特点，都提供适用于特定应用的高效解决方案并满足灵活定制的要求。可提供 高位置稳定性 / 高双向重复精度 / 高动态性能 / 超短的运动和稳定时间 。
集成运动系统平台主要包含：XY轴堆叠运动平台，Z3T H / Z3TM 型复合运动模块，QuiET主动避振系统 及ETEL全套运动/位置控制产品四个部分。
RTMBi + TUCANA 转台
ETEL提供的转塔式IC测试运控高端解决方案,满足该市场相关的特定运动控制和生产需求（如吞吐量、准确性、软接触、鲁棒性和对恶劣环境的适应性）。
该运控方案主要包括：分度旋转电机（RTMBi系列），短行程执行器（Tucana /Aquarius 系列），直驱电机及ETEL全套运动/位置控制产品四个部分。
运动控制单元(UltimET)与位置控制单元(AccurET)
ETEL提供的运动控制单元（UltimET）和位置控制单元（AccurET）能驱动市场上绝大多数伺服电机（无刷电机，直流电机和步进电机），并实现完美的控制性能。分布式系统架构确保工作性能和速度不受系统中被驱动轴数的影响。
UltimET& AccurET主要特点：
ETEL基于千兆以太网的实时1Gbit通信总线(TransnET)
确定的同步或插补特性，运控模式丰富（G Code, ULM, PVT, PT, LKT….）
高级伺服算法(2D/3D Mapping, FFW…)
强大的计算能力，内嵌免费的实时操作系统，处理时间紧迫型的任务
更快的数据处理能力，在控制器端进行更多数据处理/日志记录
更丰富的接口，直接读写制程控制相关数据
模块化设计，结构紧凑，布线简单，便于设备安装
用于设置，识别，调校和监控的ComET调试工具包，简单易用
支持用于自动化测试和仿真的工具软件WINGLET
可选配的嵌入式扩展卡设计
非常适合电子及半导体行业应用
MS/MC,MSS/MCS,MSR/MCR系列光栅尺和角度编码器
MS/MC，MSS/MCS ,MSR/MCR 系列产品是RSF推出的全新的，增量式/绝对式的直线光栅尺和角度编码器，其高精度的刻线，在线信号稳定增强功能，确保客户获取高质量的信号;自带三色指示灯，简化客户安装。
MSxx敞开式增量型直线光栅尺
MCxx敞开式绝对型直线光栅尺
MSS/MSRxx不带内置轴承的增量式角度编码器
MCS/MCRxx不带内置轴承的绝对式角度编码器
自带三色指示灯，可显示信号质量
高质量的单场扫描信号
抗污染能力强
较高的穿越速度
较大的安装公差
读头结构小巧紧凑
分辨率: 10 μm – 0.05 μm
丰富的产品测量范围及电子接口
LIKselet和LIKgo系列敞开式光栅尺
LIKselect ： 20.5mm*15mm*2.5mm（定制读头结构），20um栅距，测量步距可达78.125nm。
LIKgo : 28mm*13mm*7.5mm（读头尺寸），20um栅距，测量步距可达78.125nm。
LIKselect 和LIKgo是NUMERIK JENA推出的全新、特别设计的直线光栅尺，其小巧的尺寸，可定制化的结构，可更好地满足客户的要求。
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