【CSEAC 2022】青岛国林参展第十届（2022）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会

第十届（2022）中国半导体设备年会

暨半导体设备与核心部件展示会（CSEAC)

时间：2022年8月20-22日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

青岛国林半导体技术有限公司

青岛国林半导体技术有限公司系青岛国林环保科技股份有限公司（股票代码：300786）全资子公司，专注于研发半导体、光伏新能源、电子光电等相关领域的臭氧应用系统解决方案。

国林科技作为“臭氧产生机理研究、臭氧装备设计与制造、臭氧系统工程方案设计、安装、调试、运行及维护“的专业化公司，是《水处理用臭氧发生器》行业标准及国家标准的主编单位，已成为全球知名的臭氧系统装备专业化企业。

在光伏、半导体、电子光电等微观制程应用领域，国林半导体充分发挥臭氧技术优势，为客户提供高纯半导体级臭氧相关装备，全方位满足客户需求，实现国产化替代。公司将始终致力于不断提升中国半导体臭氧装备技术水平，为半导体设备国产化发展做出贡献。

网址：www.guolinsemi.com

产品展示

Product presentation

电子级超纯臭氧气体发生器：

采用高浓度、超纯净工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。

GTC发生器能够产生高浓度、大量流量、高压力的超洁净臭氧，整体模块化，结构紧凑，简洁、可视化外观。

♦臭氧浓度高，浓度高达400mg/L；

♦臭氧输出压力高，压力高达2.5bar；

♦采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免、减少金属污染及析出；

♦水冷型，无氮气掺加技术；

♦获得发明专利的臭氧发生器采用专用结构设计，保证系统性能更稳定；

臭氧气体输送系统：

臭氧气体输送系统，可产生超纯、可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中，借助臭氧气体反应实现原子层沉积 (ALD) 和蚀刻 (ALE) 等薄膜沉积工艺。高纯度、高浓度臭氧气体能够产生更高的薄膜密度，从而提高产品产量、产品性能和可靠性。

系统采用高浓度、超纯净臭氧生成技术，精准的臭氧浓度检测、流量、压力控制和稳定的电源，以及安全防护等附加功能。是一种自由组合的、可高度集成的模块化臭氧系统，可以配备多组GTC系列发生器，形成多通道系统，满足不同臭氧气体应用需求。

♦ 臭氧浓度高，浓度高达400mg/L；

♦ 高臭氧产量可达220g/h;

♦ 高气体流量；

♦ 采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免金属污染及析出；

♦ 水冷型，无氮气掺加技术；

♦ 通道数量1-4可选；

♦ 气体浓度检测装置（选配）；

半导体级高浓度臭氧水系统

半导体级高浓度臭氧水系统专为半导体行业应用而开发设计，系统采用高浓度、超纯净臭氧生成与混合控制技术，选用高品质、超纯耐臭氧材料，实现为半导体行业应用提供超洁净、高浓度臭氧水。

臭氧水广泛应用于清洗与氧化制程中，如去除颗粒、金属离子、自然氧化层以及有机物，臭氧水作为可替代SC1 和SC2 的新清洗方式，大幅度降低行业污染物排放、降低清洗成本，提高清洗效果。

♦ 臭氧水输出稳定，臭氧水流量2-20L/min可控、可调，输出压力2.5bar；

♦ 应用超纯高效混合与控制技术，臭氧水溶浓度实现5-100ppm；

♦ 采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免金属污染及析出；

♦ 内置臭氧水溶浓度检测装置。

♦ 设备可与外部进行通讯，实现数据传送以及进行远程控制。

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